掃描電鏡的探針電子束和樣品之間的工作距離如何控制？
日期：2023-07-06
在掃描電鏡（SEM）中，探針電子束與樣品之間的工作距離是非常關(guān)鍵的，它會(huì)直接影響到成像的清晰度和信號(hào)強(qiáng)度。以下是一些常見(jiàn)的方法和控制參數(shù)，用于控制探針電子束和樣品之間的工作距離：
調(diào)整樣品臺(tái)高度：SEM通常配備有可以控制樣品臺(tái)高度的裝置。通過(guò)上升或下降樣品臺(tái)，可以調(diào)整探針電子束與樣品之間的工作距離。調(diào)整樣品臺(tái)高度可以改變電子束的入射角度和聚焦效果。
工作距離調(diào)節(jié)器：一些SEM系統(tǒng)配備了工作距離調(diào)節(jié)器，它可以準(zhǔn)確控制探針電子束和樣品之間的距離。這種調(diào)節(jié)器通常由納米級(jí)的位置調(diào)節(jié)裝置組成，通過(guò)微小的移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)工作距離的調(diào)整。
對(duì)焦：SEM通常具有對(duì)焦功能，可以調(diào)整探針電子束的聚焦效果。通過(guò)對(duì)焦功能，可以改變探針電子束的聚焦平面，從而影響到與樣品之間的工作距離。
檢查樣品和電子槍熱點(diǎn)位置：在進(jìn)行SEM操作之前，需要確保樣品的平整性和正確的安裝位置。同時(shí)，還需要檢查電子槍熱點(diǎn)的位置，以確保電子束發(fā)射的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
電子束和樣品的對(duì)準(zhǔn)：SEM通常具有對(duì)準(zhǔn)功能，可以將探針電子束準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)到樣品的感興趣區(qū)域。通過(guò)對(duì)準(zhǔn)功能，可以使探針電子束與樣品之間的工作距離保持穩(wěn)定并準(zhǔn)確。
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作者：澤攸科技