如何校準和驗證掃描電鏡的參數準確性？
日期：2023-07-06
校準和驗證掃描電鏡（SEM）的參數準確性是確保SEM獲得準確、可靠數據的重要步驟。以下是一些常見的方法和步驟，可用于校準和驗證SEM的參數準確性：
放置標準樣品：使用已知形貌和尺寸的標準樣品，例如校準標準樣品或已知晶格參數的晶體樣品。將標準樣品放置在SEM樣品臺上。
調整加速電壓：根據標準樣品的要求，調整SEM的加速電壓，以確保獲得正確的電子束能量和穿透深度。
校準像差和聚焦：使用SEM系統提供的功能，對像差和聚焦進行校準，以確保圖像的清晰度和準確度。這可以通過選擇合適的校準樣品并調整SEM參數來完成。
校準圖像尺寸和放大倍數：使用已知尺寸的標準樣品，比如標準網格樣品或線尺樣品，對SEM的圖像尺寸進行校準。通過測量標準樣品上已知距離的像素數目，并結合SEM軟件中的校準功能，將像素與實際尺寸進行關聯。
校準像素密度：使用校準樣品上已知間距的特定區域，通過測量像素數目來校準SEM的像素密度。將已知的間距與測得的像素數目進行計算，確定像素密度。
進行校準驗證：使用其他獨立的測量技術或已知準確值的樣品，驗證SEM獲得的結果的準確性。這可以涉及形貌、尺寸、元素組成等方面的驗證。
定期維護和校準：SEM設備需要定期的維護和校準，以保持參數的準確性。遵循設備制造商提供的維護和校準指南進行操作，例如定期清潔和校準光學元件、對真空系統進行檢查和校準等。
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作者：澤攸科技