掃描電鏡可以做三維重構(gòu)嗎？
日期：2025-08-15
掃描電鏡（SEM）是能實現(xiàn)三維重構(gòu)的，但它本身并不是直接拍 3D 圖像的，而是通過一系列手段間接獲得三維表面信息。常見方法有：
1. 傾斜成像法
先在一個固定位置拍攝樣品的正常視角圖像，再將樣品臺傾斜一定角度（如 5°~10°）拍第二張圖。
把兩張不同角度的圖像輸入到立體重建軟件中計算高度信息，生成 3D 表面模型。
優(yōu)點：方法簡單，利用現(xiàn)有 SEM 就能做。缺點：精度依賴傾角和圖像對準度。
2. 聚焦離子束-掃描電鏡（FIB-SEM）切片重構(gòu)
FIB 用離子束一點點切削樣品，每切一層，SEM 拍一次截面圖。
所有層疊圖像按順序疊加，就能重構(gòu)出內(nèi)部的三維結(jié)構(gòu)。
優(yōu)點：能重構(gòu)納米級內(nèi)部結(jié)構(gòu)，適合材料、半導體、細胞切片。缺點：破壞性，時間長，對樣品有要求。
3. 檢測器陰影法（基于多探測器信號）
同時用多個探測器（如左、右 SE 或 BSE）拍攝，通過信號強弱差異反推表面高度信息。
類似光學里的形貌重構(gòu)。
精度中等，適合快速估計粗糙度或表面形貌。
4. 專用 3D SEM 模塊
一些掃描電鏡有內(nèi)置 3D 重構(gòu)功能，直接在軟件里處理并導出三維表面模型和高度圖。
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作者：澤攸科技