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掃描電鏡（SEM）能看到的最小結構，取決于顯微鏡的類型、電子槍性能、探測器類型以及樣品制備情況。

1. 常規(guī)鎢燈絲 SEM

分辨率大約在 3–5 nm 左右

適合觀察微米到幾十納米的結構

2. 場發(fā)射 SEM

分辨率可達到 1–2 nm（有些型號能到 0.5 nm）

適合觀察幾十納米以下的精細結構，比如納米顆粒、納米線、薄膜表面細節(jié)

3. 實際限制因素

即便顯微鏡本身分辨率很高，以下因素也可能讓你“看不到那么小”：

樣品帶電（非導電樣品沒有鍍膜處理時）

表面污染（油污、真空油蒸發(fā)、樣品老化）

振動與漂移（納米級放大時，機械和熱漂移影響很大）

電子束損傷（有機物或敏感材料會被燒蝕）

4. 對比

如果只是看微米級紋理，普通 SEM 足夠了。

如果要看納米級晶粒邊界或細微臺階，建議用場發(fā)射 SEM 并做好高質量制樣。