掃描電鏡的樣品臺有哪幾種運(yùn)動方式？
日期：2025-08-13
掃描電鏡（SEM）的樣品臺常見的運(yùn)動方式主要包括以下幾類，每種運(yùn)動方式都對應(yīng)不同的調(diào)節(jié)需求：
1. 平移運(yùn)動
X 方向：左右移動樣品。
Y 方向：前后移動樣品。
這兩個方向的移動主要用于選擇觀察區(qū)域或掃描范圍。
2. 垂直運(yùn)動
Z 方向：上下調(diào)節(jié)樣品高度。
調(diào)節(jié) Z 軸主要是為了控制工作距離（WD），影響焦距和放大倍數(shù)。
3. 傾斜運(yùn)動（Tilt）
將樣品臺繞 X 或 Y 軸傾斜一定角度（例如 ±90° 或 ±45°，視機(jī)型而定）。
傾斜常用于測量表面臺階高度、觀察側(cè)面結(jié)構(gòu)，或者配合 EDS（能譜）分析優(yōu)化信號采集。
4. 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動（Rotation）
繞垂直于樣品臺平面的軸旋轉(zhuǎn)（360° 或有限角度）。
旋轉(zhuǎn)便于從不同方位觀察樣品，尤其在立體形貌分析和多角度成像時很有用。
5. 復(fù)合運(yùn)動
部分SEM 樣品臺支持多軸聯(lián)動，可以在移動、旋轉(zhuǎn)、傾斜中保持某個點(diǎn)在視場中心。
這對于納米級定位和高精度重復(fù)觀察非常重要。
6. 特殊運(yùn)動
偏心旋轉(zhuǎn)（一些帶探針或特殊夾具的臺面）
連續(xù)掃描移動（用于大面積拼圖成像）
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作者：澤攸科技