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在掃描電子顯微鏡（SEM）中，偽影是指圖像中出現(xiàn)的非樣品真實結(jié)構(gòu)的信號或形態(tài)，它們會誤導(dǎo)觀察者，通常來源于樣品制備、設(shè)備本身或成像條件。可以理解為“假象細節(jié)”。

1. 偽影的來源

(1) 樣品制備相關(guān)

表面污染：灰塵、油脂或殘留溶劑可能被電子束激發(fā)，產(chǎn)生亮斑或陰影。

鍍膜不均：金/碳鍍膜厚度不均，導(dǎo)致局部亮度異常或紋理偽影。

機械損傷：切片、拋光、壓痕可能在圖像上顯示為非原生結(jié)構(gòu)。

干燥/脫水問題（生物樣品）：樣品收縮、皺折形成假形貌。

(2) 電子束與設(shè)備因素

充電效應(yīng)：非導(dǎo)電樣品累積電荷，使局部信號增強或漂移，產(chǎn)生亮斑或條紋。

束掃描掃描偽影：掃描速度過快或掃描線錯誤可能造成條紋、波紋。

探測器非均勻性：二次電子探測器響應(yīng)差異產(chǎn)生亮暗條紋。

振動或漂移：臺面移動、樣品熱膨脹或環(huán)境振動會導(dǎo)致模糊或重復(fù)圖案。

(3) 圖像處理引入

濾波、增強或插值：不當處理可能引入假紋理或偽結(jié)構(gòu)。

2. 常見SEM偽影類型

條紋或線狀偽影：掃描線誤差或探測器響應(yīng)不均造成。

亮斑/暗斑：表面污染或充電效應(yīng)。

重復(fù)圖案：振動或掃描疊加產(chǎn)生。

邊緣增強假象：軟件銳化或濾波過度。

收縮/皺折偽影：干燥或脫水生物樣品特有。

3. 避免或減少偽影的方法

樣品制備：保持清潔、均勻鍍膜、減小機械損傷。

導(dǎo)電處理：鍍金/碳或使用低加速電壓、低真空模式減少充電。

調(diào)整掃描參數(shù)：合理掃描速度、像素密度和焦距。

穩(wěn)定環(huán)境：減少振動、溫度波動和空氣流動。

圖像處理謹慎：避免過度濾波或插值。