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放大倍數對掃描電鏡圖像質量的影響

日期:2025-09-12

掃描電鏡(SEM)的放大倍數對圖像質量有直接而明顯的影響,它不僅決定了圖像呈現的 細節程度,也會影響 亮度、清晰度、景深 等成像質量指標。可以從以下幾個方面來分析:

1. 分辨率與細節顯示

低放大倍數

適合觀察大范圍的表面形貌和整體結構。

圖像細節有限,無法顯示納米級或亞微米級特征。

高放大倍數

可揭示微小顆粒、晶界、缺陷等細節。

但成像對樣品導電性、表面平整度、電子束穩定性要求更高。

2. 噪聲與信噪比

低倍時,電子束掃描面積大,信號收集相對均勻,信噪比好,圖像更穩定。

高倍時,電子束聚焦到小區域,信號強度下降,更容易出現噪點和圖像噪聲。

3. 景深

低倍成像:景深大,樣品表面高低起伏仍能整體清晰成像。

高倍成像:景深減小,只有電子束焦點所在平面清晰,樣品稍有起伏就可能導致部分區域模糊。

4. 亮度與對比度

隨著放大倍數升高,掃描區域縮小,收集到的二次電子數量減少,圖像亮度下降,需要調節放大器增益或探測器參數。

高倍下表面微結構的對比度增強,但過度放大可能導致對比度過低而模糊。

5. 操作與限制

過高放大倍數可能超過樣品表面的實際分辨率極限,導致“放大模糊”,圖像細節并沒有真實增加。

樣品如果導電性不足或表面粗糙,高倍下更容易出現充電效應和圖像漂移模糊。


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作者:澤攸科技


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