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在掃描電鏡 (SEM) 中，優(yōu)化樣品的傾斜角度可以顯著影響圖像質(zhì)量、表面特征的觀察效果，以及元素分析的準確性。以下是優(yōu)化樣品傾斜角度的具體方法和注意事項：

1. 確定優(yōu)化傾斜角度的目標

根據(jù)實驗需求調(diào)整傾斜角度：

表面形貌觀察：通常使用較小的傾斜角（如 0°-10°）以獲得清晰的表面細節(jié)。

立體感增強：增加傾斜角（如 30°-45°）可以增強表面形貌的立體感。

能量色散光譜 (EDS) 分析：傾斜角為 70°，因為高角度傾斜有助于提高 X 射線的探測效率。

斷口分析：樣品傾斜角通常設置為 90°，以垂直觀察斷裂表面。

2. 調(diào)整傾斜角度的具體操作

安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺上，確保樣品牢固且平穩(wěn)。

使用適配器（如傾斜樣品夾）以便更方便地調(diào)整角度。

初步調(diào)整：

在 SEM 控制軟件中，選擇適當?shù)墓ぷ骶嚯x (WD) 和放大倍數(shù)。

初始傾斜角設置為 0°，以便觀察樣品表面整體分布。

逐步調(diào)整傾斜角：

使用樣品臺的傾斜功能，緩慢增加傾斜角度。

每次調(diào)整后，觀察圖像質(zhì)量變化，確保樣品的關鍵區(qū)域始終在焦點范圍內(nèi)。

重新聚焦和對中：

調(diào)整傾斜角后，樣品可能偏離中心或失去焦點。

使用 SEM 的 Z 軸調(diào)整 或 對中功能，重新對準樣品的目標區(qū)域。

使用 動態(tài)聚焦功能，確保傾斜后圖像的清晰度。

3. 注意事項

避免過大傾斜角：

傾斜角過大（>70°）可能導致：圖像失真或邊緣模糊。

樣品的電荷累積問題，特別是非導電樣品。

樣品遮擋，影響其他區(qū)域的觀察或分析。

考慮樣品高度：

樣品傾斜時，確保樣品不會與 SEM 的物鏡或探測器發(fā)生碰撞。

選擇合適的工作距離 (WD) 以避免機械干涉。

導電性和鍍膜：

非導電樣品在傾斜時更容易積累電荷，建議進行導電處理（如鍍金或鍍碳）。

多次實驗驗證：

不同樣品的傾斜角可能不同，通過多次實驗找到適合角度。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中優(yōu)化樣品的傾斜角度。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢