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掃描電鏡圖像為何可能會出現條紋或拖影?

日期:2025-05-29

掃描電鏡(SEM)圖像中出現條紋或拖影(smearing、streaks、drag)現象,通常反映了電子束掃描、樣品狀態或系統穩定性的問題。以下是常見原因及解釋:

1. 樣品帶電

非導體樣品或導電不良區域容易積聚電子,形成局部電場,使電子束偏轉,導致圖像出現:

條紋狀亮斑

圖像偏移或重復拖尾

解決方法:

在樣品表面噴金、碳等導電涂層

使用低加速電壓成像

使用環境掃描電鏡(ESEM)

2. 掃描速度過慢或電子束漂移

長時間掃描時,如果樣品或電子束存在漂移,會導致圖像模糊或形成拖影。

常見原因包括:

樣品加熱或冷卻造成熱膨脹位移

鏡筒電子漂移

工作環境不穩定(如溫度、磁場、空氣流)

解決方法:

穩定室溫

縮短掃描時間(提高掃描速度)

等待樣品和系統熱穩定后再掃描

3. 振動干擾或電磁噪聲

環境振動或電磁干擾可造成周期性圖像條紋,尤其表現為橫向或斜向線性條紋。

可能來源:

地板震動、周圍設備運作(如壓縮機)

電源干擾(如接地不良或電源共地問題)

解決方法:

使用防震臺

排查接地系統

遠離大功率電器或變壓器

4. 探測器信號問題

探測器本身存在故障或信號接觸不良,也會導致圖像中出現不規則紋理或噪聲線條。

建議檢查:

探測器是否干凈

接線是否松動

放大電路是否工作正常

5. 數據傳輸錯誤或圖像存儲損壞

在圖像數據采集、處理或保存過程中出現錯誤,也可能造成圖像條紋或部分圖像拖尾。

可嘗試:

重啟 SEM 軟件或主機

再次采圖觀察是否可重現問題


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作者:澤攸科技


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