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在掃描電子顯微鏡（SEM）中，工作距離（Working Distance, WD）是指電子槍發射出的電子束聚焦到樣品表面之間的距離。工作距離的調整對信號收集效率、圖像質量以及分辨率等都有重要影響，具體如下：

信號收集效率：

短工作距離：電子束的散焦較小，二次電子和背散射電子的收集效率較高，因為它們在樣品表面與探測器之間的路徑較短，這減少了信號丟失和電子散射。通常，短工作距離有助于提高圖像的亮度和信號對噪聲比。

長工作距離：由于電子在樣品表面和探測器之間的路徑更長，信號會衰減，尤其是低能量的二次電子。同時，背散射電子的發射角度影響會更明顯，導致收集效率下降。因此，長工作距離通常會降低信號收集效率。

分辨率：

短工作距離一般用于高分辨率成像，因為電子束在樣品表面的聚焦更緊密，能生成更清晰的細節。然而，由于短工作距離可能會增加樣品與物鏡或探針之間的相互干擾，使用時需要更精確的對準和控制。

長工作距離適合低分辨率成像和更大樣品的觀察，但通常分辨率較低。

景深：

工作距離越長，景深（焦距范圍內清晰成像的深度）越大，適用于較大或不平整樣品的觀察。

短工作距離則會減少景深，因此更適合用于觀察平坦樣品或對特定細節的高分辨率成像。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的工作距離如何影響信號收集效率。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢