如何避免掃描電鏡樣品表面的“熱偽影”現象
日期：2023-11-07
掃描電鏡樣品表面的 "熱偽影" 現象通常是由于電子束的高能量導致的。這種現象可能會導致樣品局部升溫，影響成像和分析結果。以下是一些避免或減輕熱偽影的方法：
低電子束能量：降低電子束的能量，特別是在高分辨率成像之前。降低電子束能量可以減少熱偽影的潛在影響。
低電子束流密度：減小電子束的流密度，即每單位面積的電子束束流。這可以通過調整電子束的亮度或束團大小來實現。
快速掃描模式：使用快速掃描模式可以減少電子束停留在樣品表面的時間，從而減小熱偽影的可能性。
預冷樣品：在進行高倍率掃描之前，可以將樣品冷卻到低溫，以減少樣品加熱。
使用低溫樣品臺：一些掃描電鏡配備了低溫樣品臺，可以在成像時保持樣品低溫，從而減輕熱偽影。
樣品制備：在進行掃描電鏡成像前，確保樣品的制備質量，避免過大的不均勻區域或凹陷，以減少電子束的局部能量損耗。
實驗參數優化：根據特定的樣品和實驗需求，優化掃描電鏡的參數，以找到高質量的成像條件。
熱偽影是一個需要仔細處理的問題，因為它可能會導致圖像質量下降和分析誤差。通過合理選擇實驗參數和采取適當的預防措施，可以減小熱偽影的影響。
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作者：澤攸科技
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