臺式掃描電鏡如何進行元素分析和能譜測量
日期：2023-11-02
臺式掃描電鏡通常可以進行元素分析和能譜測量，這通常涉及到能譜儀器的使用。下面是一般的步驟：
樣品準備： 首先，您需要準備您要分析的樣品。這可能涉及到切割、磨削、拋光或其他樣品制備步驟，以確保表面平整、潔凈，并且具有代表性。
電子束對準： 在掃描電鏡中，將電子束對準到您感興趣的樣品區域。確保電子束聚焦在一個小區域上，以獲取高分辨率的成像。
能譜儀器準備： 啟動或準備能譜儀器，通常是通過在電子束和樣品之間引入一塊能譜探測器。這個探測器將檢測樣品產生的X射線。
X射線發射： 當電子束擊中樣品時，它會與樣品中的原子相互作用，產生X射線輻射。這些X射線具有特定的能量，取決于與樣品中原子的相互作用。
X射線分析： 能譜儀器將檢測并記錄生成的X射線的能譜信息。這些信息將根據X射線的能量來分類。
元素識別： 分析軟件將使用X射線的能譜信息來識別樣品中存在的元素。這通常通過比較檢測到的X射線的能譜與已知元素的數據庫來實現。
定量分析： 根據能譜信息，您可以定量分析樣品中每種元素的含量。這需要使用標準物質進行校準。
成像和分析： 在進行元素分析之前，您可以使用掃描電鏡獲取有關樣品的高分辨率圖像。這些圖像可以與元素分析數據相關聯，以獲得更詳細的信息。
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作者：澤攸科技