掃描電鏡中的電子束與樣品之間的距離有何影響
日期：2023-10-27
在掃描電鏡中，電子束與樣品之間的距離是一個重要的參數，通常稱為工作距離或工作距離。這個距離對SEM成像的質量和性能有顯著的影響，以下是一些影響：
成像分辨率： 工作距離會影響SEM的成像分辨率。通常情況下，較小的工作距離可以提供更高的分辨率，因為電子束更聚焦。如果工作距離過大，分辨率可能會下降。
深度和對焦范圍： 工作距離也會影響對焦范圍，即樣品上下表面的焦平面深度。較大的工作距離通常意味著更深的對焦范圍，使您能夠觀察不同深度的樣品部分。
信號強度： 較小的工作距離可以提供更高的二次電子和反射電子信號強度。這對于獲得清晰的圖像和更好的樣品導電性很重要。
樣品表面和幾何： 樣品的表面形狀和幾何特性也會影響工作距離的選擇。復雜的樣品可能需要不同的工作距離以獲得更全的信息。
放大倍數： 工作距離通常會隨著放大倍數的增加而變化。較高放大倍數通常需要較小的工作距離。
在SEM操作中，操作員通常需要選擇適當的工作距離以滿足特定應用的需求。這通常需要一些實驗和調整，以獲得高質量的成像結果。如果工作距離選擇不當，可能會導致分辨率下降、對焦困難或信號強度不足。因此，操作員需要在使用SEM時具備一定的經驗和技能。
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作者：澤攸科技
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