如何選擇和設置掃描電鏡的工作距離和對焦參數(shù)
日期：2023-10-24
選擇和設置掃描電鏡（SEM）的工作距離和對焦參數(shù)是非常重要的，因為它們直接影響成像質(zhì)量和分辨率。下面是一些關于如何選擇和設置SEM的工作距離和對焦參數(shù)的建議：
1. 工作距離選擇：
SEM的工作距離是電子束從電子槍到樣品表面的距離。通常，您需要選擇一個合適的工作距離，以確保樣品清晰可見。
在選擇工作距離時，要考慮到樣品的性質(zhì)。通常，您需要將工作距離設置得更短以獲得更好的分辨率。
較長的工作距離可用于觀察大型樣品，而較短的工作距離適用于小樣品或需要高分辨率的情況。
2. 對焦參數(shù)設置：
對焦是使圖像清晰的關鍵步驟。對焦參數(shù)通常包括電子束電壓、孔徑和工作距離。
電子束電壓：增加電子束電壓會提高電子束的穿透能力，但也可能減小分辨率。通常，您需要選擇適當?shù)碾娮邮妷阂詫崿F(xiàn)樣品的對焦。
孔徑：孔徑是控制電子束的大小和形狀的參數(shù)。較小的孔徑通常用于高分辨率成像，而較大的孔徑用于提高樣品的信號。
工作距離：調(diào)整工作距離以獲得合適的對焦。根據(jù)樣品的形狀和性質(zhì)，您可能需要逐漸改變工作距離，直到圖像清晰。
3. 自動對焦功能：
許多現(xiàn)代SEM系統(tǒng)都配備了自動對焦功能，它可以幫助您更容易地獲得清晰的圖像。這些系統(tǒng)使用內(nèi)置的對焦算法來自動調(diào)整對焦參數(shù)。
4. 樣品準備和標本制備：
樣品的準備和制備也會影響對焦。確保樣品表面平整、潔凈，并具有所需的導電性。
5. 檢查圖像：
在進行詳細的成像之前，進行初步的檢查以確保對焦正確。您可以通過在不同的對焦參數(shù)下拍攝幾張圖像，然后選擇清晰的圖像。
以上就是澤攸科技小編分享的如何選擇和設置掃描電鏡的工作距離和對焦參數(shù)。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢
作者：澤攸科技