如何在掃描電鏡中準備和處理樣品？
日期：2023-09-22
在掃描電鏡（SEM）中準備和處理樣品是確保獲得高質量圖像和準確數據的關鍵步驟。以下是一般的樣品準備和處理步驟：
樣品選擇： 首先，您需要選擇適合SEM觀察的樣品。樣品通常應具有導電性或需要導電性涂層，因為電子束需要與樣品表面相互作用才能產生圖像。
樣品固定： 樣品需要在觀察期間保持固定，以防止運動或振動影響圖像質量。樣品可以使用適當的夾具、支架或膠粘劑固定到樣品臺上。
導電性涂層： 如果樣品本身不導電，您可能需要對其進行導電性涂層。通常使用金屬涂層（如金或鉑）或碳涂層，以確保電子束可以通過樣品并產生清晰的圖像。
樣品切割和磨削： 如果樣品過大或太厚，可能需要切割或磨削以獲得所需的形狀和厚度。這通常需要使用適當的切割工具和磨削設備。
樣品干燥： 樣品在進入SEM之前須保持干燥，以防止水分對電子束產生干擾。使用氣體流、真空或化學方法來去除任何殘留的水分。
金屬涂層： 如果需要，可以將樣品表面涂覆薄薄的金屬層。這有助于提高導電性和圖像質量。
安裝樣品： 樣品準備好后，將其小心地安裝到SEM樣品臺上，并確保固定牢固。
真空抽取： SEM需要在真空環境中操作，因此須抽取空氣，以確保電子束不會與氣體分子發生碰撞。在SEM中建立所需的真空需要時間，通常需要一段預熱時間。
參數設置： 在開始圖像采集之前，需要根據樣品的特性和實驗目的調整SEM的參數，包括加速電壓、電流、對焦和掃描速度。
圖像采集： 一旦樣品準備和SEM參數設置完成，就可以開始采集圖像。可以選擇不同的檢測模式，如二次電子成像或反射電子成像，以獲取不同類型的信息。
數據分析： 處理和分析獲得的SEM圖像和數據，以滿足您的研究或分析目的。
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作者：澤攸科技