臺(tái)式掃描電鏡如何進(jìn)行樣品對(duì)比度增強(qiáng)？
日期：2023-09-11
要在臺(tái)式掃描電鏡（SEM）中增強(qiáng)樣品的對(duì)比度，可以采取以下一些常見(jiàn)的方法和技巧：
調(diào)整電子束參數(shù)： SEM中的電子束參數(shù)可以調(diào)整，包括電子束的加速電壓（加速電子的能量）和電流。增加加速電壓通常會(huì)提高對(duì)比度，但需要小心以避免對(duì)樣品造成損傷。適當(dāng)選擇電子束電壓和電流以獲得高對(duì)比度。
選擇檢測(cè)模式： SEM通常有不同的檢測(cè)模式，如二次電子檢測(cè)（SE）和反向散射電子檢測(cè)（BSE）。二次電子檢測(cè)通常提供較高的表面拓?fù)鋵?duì)比度，而反向散射電子檢測(cè)可以提供樣品的化學(xué)元素對(duì)比度。選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)模式以滿足您的觀察需求。
調(diào)整工作距離： 工作距離是樣品表面到電子槍的距離。調(diào)整工作距離可以影響到電子束的聚焦，從而影響對(duì)比度。適當(dāng)調(diào)整工作距離以獲得高對(duì)比度。
樣品準(zhǔn)備： 樣品的表面狀態(tài)和準(zhǔn)備對(duì)對(duì)比度至關(guān)重要。確保樣品表面光滑、干凈，并適當(dāng)?shù)赝扛不蝈兏惨栽鰪?qiáng)導(dǎo)電性。一些樣品可能需要金屬鍍膜以提高對(duì)比度。
選擇合適的探針電流： 控制探針電流可以影響到圖像的對(duì)比度。較高的探針電流通常會(huì)提供更好的對(duì)比度，但需要小心以避免樣品損傷。
圖像后處理： 在獲取圖像后，可以使用圖像處理軟件來(lái)進(jìn)一步增強(qiáng)對(duì)比度。這包括調(diào)整亮度、對(duì)比度、伽馬校正等參數(shù)，以及應(yīng)用濾波器和增強(qiáng)算法。
使用適當(dāng)?shù)膬A斜角度： 在某些情況下，通過(guò)改變SEM樣品臺(tái)的傾斜角度，可以提供更好的對(duì)比度，特別是在觀察表面特征時(shí)。
利用多種檢測(cè)模式： 在某些情況下，使用多個(gè)檢測(cè)模式并合成圖像（例如，SE圖像和BSE圖像），可以提供更豐富的信息和對(duì)比度。
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作者：澤攸科技