臺式掃描電鏡的樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能如何影響成像結(jié)果？
日期：2023-08-28
臺式掃描電子顯微鏡（SEM）通常具有樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能，這些功能可以對成像結(jié)果產(chǎn)生影響。下面是關(guān)于這些功能如何影響成像結(jié)果的一些信息：
樣品旋轉(zhuǎn)功能：
多角度觀察： 樣品旋轉(zhuǎn)功能允許你從不同的角度觀察樣品表面。通過觀察樣品的不同側(cè)面，可以獲取更全的信息，揭示樣品的三維形貌。
圖像對比： 旋轉(zhuǎn)樣品可以幫助你獲取不同角度下的圖像，從而使得對比更加明顯。特別是在表面有微小結(jié)構(gòu)或特征時(shí)，從不同角度觀察可以揭示更多細(xì)節(jié)。
深度信息： 樣品旋轉(zhuǎn)可以提供關(guān)于表面高度、凹凸等結(jié)構(gòu)的深度信息。在分析微小的拓?fù)涮卣鲿r(shí)，旋轉(zhuǎn)功能可以增加數(shù)據(jù)的可靠性。
樣品傾斜功能：
透視效果： 樣品傾斜可以賦予圖像以透視效果，從而使得樣品表面的三維結(jié)構(gòu)更加清晰可見。
視野變大： 傾斜樣品可以使得局部細(xì)節(jié)更容易被觀察，尤其是對于突出的特征或結(jié)構(gòu)。
避免充電效應(yīng)： 傾斜樣品可以改變電子束的入射角度，從而有助于減輕充電效應(yīng)，提高成像質(zhì)量。
需要注意的是，樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能可能會對成像過程中的操作和參數(shù)設(shè)置產(chǎn)生一些影響：
深度對焦： 在使用樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能時(shí)，需要注意調(diào)整深度對焦，以確保觀察到的圖像在整個(gè)深度范圍內(nèi)都清晰可見。
信號強(qiáng)度： 樣品傾斜和旋轉(zhuǎn)可能會影響電子束與樣品之間的距離，從而影響信號的強(qiáng)度。需要適當(dāng)調(diào)整電子束參數(shù)。
圖像處理： 在分析旋轉(zhuǎn)或傾斜圖像時(shí)，可能需要進(jìn)行額外的圖像處理，如去除透視畸變、校正尺寸等。
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作者：澤攸科技