掃描電鏡中的像差是什么？
日期：2023-08-16
在掃描電鏡成像過程中，像差是指由于透鏡系統的電子光束的特性而引起的圖像失真或模糊。像差會影響圖像的分辨率、對比度和清晰度，限制了SEM的成像能力。以下是一些常見的像差類型和其對SEM圖像的影響：
球差： 球差是透鏡的曲率不一致性引起的像差，導致電子束在不同位置聚焦于不同的焦點。這會導致圖像的模糊和畸變，特別是在圖像的邊緣部分。
色差： 色差是由于電子束在透鏡中經過不同的路徑而引起的，導致不同能量的電子聚焦位置不同。這可能導致不同顏色的電子在樣品上產生不同的焦點，影響分辨率和圖像清晰度。
幾何像差： 幾何像差包括像場彎曲、畸變和坐標偏差等，導致圖像的幾何形狀與實際樣品形狀不匹配。
像差校正： SEM系統通常會進行像差校正，以盡可能減少像差對圖像質量的影響。一種常見的校正方法是通過使用透鏡補償器件（C 余差改正棒）來補償不同透鏡的球差。此外，還可以通過調整透鏡的電壓和參數來優化成像。
球差對焦： 在一些情況下，特別是在高分辨率成像中，可以利用球差的性質來實現不同焦點的成像，從而獲得更多信息。這稱為球差對焦技術。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的像差。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢
TAG：
作者：澤攸科技
上一篇：掃描電鏡中的成像參數調節方法有哪些？
下一篇：如何避免掃描電鏡中的樣品偽影？