掃描電鏡如何進(jìn)行放大和聚焦？
日期：2023-06-29
在掃描電鏡（SEM）中，放大和聚焦是獲取清晰圖像的關(guān)鍵步驟。下面是放大和聚焦的常用步驟：
確保SEM系統(tǒng)已正確連接并預(yù)熱至適當(dāng)溫度。在操作SEM之前，應(yīng)按照設(shè)備的操作手冊進(jìn)行預(yù)熱和初始化過程。
將樣品安裝到SEM樣品臺上，并確保樣品臺水平且穩(wěn)定。使用樣品夾或粘貼劑等方法固定樣品。
打開SEM系統(tǒng)并選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?。通常，低放大倍?shù)下使用較低的電壓（例如1-5kV），而高放大倍數(shù)下使用較高的電壓（例如10-30kV）。
初始對焦：將電子束聚焦到樣品表面。有兩種常用方法可進(jìn)行初始對焦：
斷開掃描功能：在此模式下，電子束不會掃描，而是直接擊中樣品表面。使用目鏡或顯微鏡觀察樣品表面，通過調(diào)整物鏡或目鏡的位置，使電子束聚焦到清晰的圖像上。
利用低放大倍數(shù)掃描：選擇一個適當(dāng)?shù)牡头糯蟊稊?shù)（例如100-1000倍），啟動掃描功能。然后，通過調(diào)整目鏡或顯微鏡上的對焦控制，使電子束聚焦到樣品表面的清晰圖像上。
放大調(diào)節(jié)：一旦獲得初始對焦，可以逐漸增加放大倍數(shù)以放大圖像。使用SEM系統(tǒng)的放大控制，逐步增加放大倍數(shù)，并觀察圖像質(zhì)量的變化。根據(jù)需要，可以調(diào)整目鏡或顯微鏡上的對焦控制，以保持圖像的清晰度。
細(xì)致對焦：在適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)下，進(jìn)行進(jìn)一步的對焦調(diào)整以獲得高質(zhì)量的圖像清晰度。使用目鏡或顯微鏡上的對焦控制，微調(diào)聚焦，使圖像盡可能清晰。
調(diào)整亮度和對比度：根據(jù)需要，可以在SEM系統(tǒng)中調(diào)整亮度和對比度，以改善圖像的視覺效果。
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作者：澤攸科技