如何處理掃描電鏡中的低真空問題
日期：2023-06-29
在掃描電鏡（SEM）中，低真空問題可能會導致圖像質量下降或樣品受損。低真空通常是由于以下原因之一引起的：
水分存在：樣品含有水分或水汽會在高真空下蒸發，形成氣泡或導致樣品表面液滴的形成。
不導電性樣品：不導電性樣品在高真空下容易產生電荷聚集，導致圖像出現噪點或偏移。
輕元素：某些輕元素（如碳、氧等）在高真空下易揮發，因此需要在低真空條件下觀察。
要處理低真空問題，可以采取以下措施：
調整真空條件：將掃描電鏡的真空設置為低真空模式。這可以減少電子束與氣體分子碰撞的可能性，從而降低電子散射和樣品表面電荷的產生。具體的操作步驟可能因不同的SEM型號而有所不同，因此請參考設備的操作手冊。
使用低真空輔助裝置：一些SEM系統配備了低真空輔助裝置，例如低真空探針或低真空環境室。這些裝置可以在掃描過程中維持一定的氣壓，以防止樣品表面的氣體釋放和電荷積聚。
預處理樣品：對于容易受潮的樣品，可以在觀察之前進行預處理。例如，可以在真空室中加熱樣品以去除水分，或者使用化學固定劑固定樣品表面的液體。
使用導電性涂層：對于不導電的樣品，可以在樣品表面涂覆薄導電性層，例如金屬薄層或碳薄層。這樣可以提高樣品的導電性，減少電荷聚集。
調整掃描參數：根據實際情況，可能需要調整掃描電鏡的加速電壓、電子束電流和掃描速度等參數，以獲得更好的圖像質量。
請注意，在進行任何更改或操作之前，建議參考SEM的操作手冊，并遵循廠家提供的建議和操作指南。
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作者：澤攸科技
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