掃描電鏡樣品需要多大尺寸才能放進去？
日期：2025-08-29
掃描電鏡（SEM）樣品尺寸能否放入主要取決于 樣品室大小、樣品臺載物面積 和探頭或樣品夾具的空間限制。一般來說可以這樣考慮：
1. 樣品臺和樣品室限制
樣品室直徑和高度：大多數臺式 SEM 樣品室直徑約 50–100 mm，高度 30–70 mm；高端科研用 SEM 可能更大。
樣品臺載物直徑：通常為 25–50 mm（部分可擴展至 100 mm）。
注意：樣品周邊要留有一定空間，以便電子束掃描時不碰到腔壁或探頭。
2. 樣品厚度
樣品厚度不能太高，否則可能碰到 透鏡或探測器，導致無法移動或對焦。
對高分辨率 SEM，樣品厚度一般建議 ≤ 5–10 mm。
3. 樣品重量
樣品臺通常有載重限制（幾十克到幾百克不等），過重可能影響 定位精度 和 臺面運動。
4. 樣品形狀
盡量選擇 平整底面，方便固定。
高出或不規則樣品可能需要 特制夾具 或 削薄處理。
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作者：澤攸科技
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