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掃描電鏡（SEM）樣品臺(tái)通常可以調(diào)節(jié)角度，這是樣品臺(tái)設(shè)計(jì)中的一個(gè)重要功能，具體包括傾斜（tilt）和旋轉(zhuǎn)（rotate）兩個(gè)方向的調(diào)節(jié)。其主要作用如下：

一、調(diào)角度的基本方式

傾斜（Tilt）：通常在 -5° 到 +70° 之間可調(diào)，有些設(shè)備甚至支持更大范圍。

旋轉(zhuǎn)（Rotate）：可以繞垂直軸旋轉(zhuǎn)，角度范圍一般為 360°。

二、調(diào)節(jié)角度的作用

優(yōu)化成像視角

通過傾斜樣品，可以從不同角度觀察其表面結(jié)構(gòu)，獲得更加立體或真實(shí)的圖像，特別適用于觀察微觀結(jié)構(gòu)的高度差或凹凸不平的表面。

提高成分分析效率（EDS 等）

EDS 探測(cè)器一般位于側(cè)面，為了提高探測(cè)效率，可以將樣品臺(tái)傾斜，使待分析表面朝向探測(cè)器，減小X射線路徑被樣品本體遮擋的可能，增強(qiáng)信號(hào)強(qiáng)度。

進(jìn)行晶體取向分析（如 EBSD）

EBSD 分析時(shí)需要將樣品臺(tái)傾斜至 70° 左右，以使電子束以合適角度入射到樣品表面，從而獲得清晰的背散射電子衍射圖樣。

尋找合適的觀測(cè)面

對(duì)于不規(guī)則樣品，可以通過旋轉(zhuǎn)和傾斜找到平整且對(duì)準(zhǔn)電子束的觀測(cè)區(qū)域，提高成像質(zhì)量。

避免充電效應(yīng)

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，適當(dāng)調(diào)整角度有時(shí)可以分散電子束入射區(qū)域，降低局部充電的風(fēng)險(xiǎn)，改善成像效果。

三、使用注意事項(xiàng)

調(diào)角時(shí)要避免樣品碰撞電子槍或探測(cè)器；

在高倍率或進(jìn)行精細(xì)分析前，應(yīng)鎖定樣品臺(tái)，防止移動(dòng)；

傾斜角度過大時(shí)，景深變化明顯，需重新聚焦；

部分分析（如定量EDS）在高傾角時(shí)可能出現(xiàn)幾何畸變，需要修正。