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如何判斷掃描電鏡圖像是否失真?

日期:2025-05-27

判斷掃描電鏡(SEM)圖像是否失真,可以從以下幾個(gè)關(guān)鍵方面入手進(jìn)行識(shí)別和判斷:

1. 圖像比例是否準(zhǔn)確(倍率/標(biāo)尺失真)

方法:對(duì)照已知尺寸樣品或標(biāo)準(zhǔn)樣本(如金屬線柵、納米球)進(jìn)行標(biāo)定。

表現(xiàn):圖像中比例尺與實(shí)際不符,如明明是100nm的顆粒卻被顯示為150nm,說明倍率校準(zhǔn)有誤。

2. 幾何變形

拉伸或壓縮現(xiàn)象:圖像某一方向(X 或 Y)被拉長(zhǎng)或壓扁,常由于掃描速率不同步或掃描控制電路異常引起。

判別方法:觀察圓形結(jié)構(gòu)是否仍為圓形;也可以通過校準(zhǔn)樣本(如圓孔陣列)確認(rèn)。

3. 漂移引起的重影

原因:樣品在掃描過程中因熱漂移或電子束輻照造成輕微移動(dòng)。

表現(xiàn):圖像邊緣出現(xiàn)“重影”或模糊拖尾,尤其是在長(zhǎng)時(shí)間高分辨采集中更易發(fā)生。

解決:減小掃描時(shí)間,或使用冷卻臺(tái)、樣品穩(wěn)定器。

4. 條紋/線紋失真

表現(xiàn):圖像中出現(xiàn)周期性條紋、波紋。

可能原因:

掃描線不穩(wěn)定;

樣品充電(非導(dǎo)體)導(dǎo)致;

電源噪聲或干擾信號(hào)。

處理:改善接地、對(duì)非導(dǎo)體樣品進(jìn)行鍍金/碳、降低加速電壓。

5. 顆粒感或信噪比失衡

表現(xiàn):圖像噪聲大、顆粒感強(qiáng)、難以辨識(shí)邊緣。

可能原因:

探測(cè)器增益設(shè)置過高;

探測(cè)器或樣品位置異常;

信號(hào)積分時(shí)間過短。

建議:適當(dāng)延長(zhǎng)積分時(shí)間、優(yōu)化探頭距離。

6. 聚焦問題

表現(xiàn):圖像模糊不清、邊緣不銳利,常被誤判為失真。

判斷方法:調(diào)節(jié)工作距離和聚焦旋鈕,看是否能獲得銳利圖像。

7. 掃描磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)異常

表現(xiàn):圖像整體扭曲、變形;

解決:檢查 掃描電鏡(SEM) 掃描線性電路或執(zhí)行重新校準(zhǔn)。


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作者:澤攸科技


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