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如何判斷掃描電鏡的圖像是否聚焦良好?

日期:2025-05-23

判斷掃描電鏡(SEM)圖像是否聚焦良好,主要依靠觀察圖像的細節(jié)清晰度和邊緣銳利度。以下是一些具體方法和技巧:

細節(jié)清晰度

圖像中微小結(jié)構(gòu)(如顆粒邊緣、紋理、裂縫等)是否清晰分明,沒有模糊或拖影。

細節(jié)處的對比度是否明顯,邊緣分界清楚。

邊緣銳利度

樣品表面形貌的邊緣線條應(yīng)清晰銳利,不出現(xiàn)模糊擴散。

觀察邊緣是否有“暈影”或模糊,這通常表示焦點未對準。

三維感和立體感

聚焦良好的圖像通常具有較強的立體感,陰影和高光分布合理。

焦點偏差會使圖像顯得扁平或細節(jié)層次不分明。

對比度變化

適當調(diào)整焦距時,圖像對比度會出現(xiàn)明顯變化,正確聚焦時對比度高。

輔助調(diào)整

利用SEM軟件中的聚焦輔助功能(如自動對焦或聚焦峰值顯示)。

使用放大倍率逐步微調(diào)焦距,觀察圖像變化。

通過調(diào)節(jié)工作距離和電子束參數(shù),尋找聚焦點。


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作者:澤攸科技


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