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掃描電鏡（SEM）工作時對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會對成像質(zhì)量和設(shè)備運行產(chǎn)生一系列不良影響，主要包括以下幾點：

1. 電子束散射增強，分辨率下降

真空不良時腔體內(nèi)殘余氣體分子密度升高，電子束在傳播過程中更容易與氣體分子碰撞，導致束斑發(fā)散、電子軌跡偏移，影響聚焦，圖像模糊、分辨率降低。

2. 圖像穩(wěn)定性差

氣體分子被電子束電離后產(chǎn)生的正負離子會在樣品或系統(tǒng)中積聚電荷，可能導致圖像漂移、閃爍或扭曲。

3. 信噪比降低

真空差時，二次電子和背散射電子在傳播過程中被氣體散射或吸收，導致信號減弱、噪聲增加，圖像對比度降低。

4. 樣品充電效應(yīng)加劇

特別是對非導電樣品而言，電荷在表面難以中和，若真空不好，氣體分子在電子轟擊下產(chǎn)生更多游離離子，會加劇充電效應(yīng)，導致圖像失真、亮斑或漂移。

5. 電子源壽命縮短

熱發(fā)射或場發(fā)射槍在真空不良的條件下工作，容易受到氣體分子的污染或轟擊，導致陰極污染、燒蝕，加快老化，影響發(fā)射效率和穩(wěn)定性。

6. EDS等能譜分析失真

殘余氣體可能在電子束作用下引入背景信號或引起光譜漂移，影響定量分析準確性。

7. 可能引起系統(tǒng)報警或自動保護

真空度未達標時，SEM系統(tǒng)往往會限制高壓、關(guān)斷電子槍或中止掃描，以保護關(guān)鍵元件。