中文
English

判斷掃描電鏡（SEM）圖像中的條紋是否為干擾（artifact），可以從以下幾個方面著手分析：

1. 條紋方向是否與掃描方向一致？

條紋平行于掃描線（橫向）：很可能是電子束掃描系統(tǒng)的干擾，如振動、電源噪聲或掃描偏轉(zhuǎn)不穩(wěn)定。

條紋垂直于掃描線（縱向）：可能是樣品充電、樣品形貌引起的掃描信號響應(yīng)異常。

2. 多次拍攝是否復(fù)現(xiàn)條紋？

固定位置、多次成像都有條紋：可能是樣品本身問題（如表面結(jié)構(gòu)、污染物、刻蝕痕）。

換區(qū)域或旋轉(zhuǎn)樣品后條紋消失或改變方向：更可能是系統(tǒng)干擾。

3. 樣品導(dǎo)電性是否良好？

非導(dǎo)電樣品、未鍍膜：容易因電荷積累產(chǎn)生條紋、亮帶或漂移。

可嘗試低壓觀察或?qū)悠繁砻孢M行導(dǎo)電涂層處理（如金、碳鍍膜）。

4. 設(shè)備狀態(tài)是否穩(wěn)定？

檢查以下是否存在問題：

電源穩(wěn)定性（尤其是掃描偏轉(zhuǎn)電源）；

真空系統(tǒng)不穩(wěn)定；

線纜接觸不良；

外部電磁干擾（如鄰近電機、電焊、空調(diào)等設(shè)備）。

5. 條紋是否規(guī)律重復(fù)？

周期性規(guī)則條紋：可能是電子槍、偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)或信號采集系統(tǒng)受到周期性噪聲干擾。

隨機不規(guī)則條紋：更可能是電子束不穩(wěn)定、樣品靜電或環(huán)境干擾。

簡單判斷步驟總結(jié)：

換樣品區(qū)域/旋轉(zhuǎn)樣品觀察條紋是否變化；

調(diào)節(jié)掃描速度看看條紋是否增強/減弱；

檢查樣品導(dǎo)電性是否良好，有無充電效應(yīng)；

查看系統(tǒng)接地和周邊干擾源；

拍攝不同倍率/不同電壓圖像，比較條紋響應(yīng)。