掃描電鏡樣品臺傾斜角度調節的作用
日期：2025-04-28
在掃描電鏡（SEM）中，調節樣品臺傾斜角度的作用主要有以下幾點：
1. 增強表面立體感和細節對比
適當傾斜樣品，可以讓電子束在表面形成更明顯的陰影效果，使紋理、顆粒、微小凹凸的細節更加清晰。
這種立體感提升，有助于觀察樣品的微觀結構特征，比如裂紋、孔洞、臺階狀形貌。
2. 改善背散射電子成像（BSE）對比
BSE 成像對元素原子序數（Z值）敏感。
樣品傾斜后，不同區域的背散射強度變化更明顯，可以提高成分對比，使材料分界更加清晰。
3. 有助于能譜分析（EDS）
進行能譜（EDS）檢測時，理想狀態是電子束與樣品表面接近垂直，探測器與樣品之間角度適中。
適當傾斜可以優化探測器的接收角，提高能譜信號采集效率，減少遮擋，提升分析準確性。
4. 便于特定斷面或內部結構觀察
如果需要觀察樣品的某個斷面、剖面，或者內部細微結構，傾斜樣品可以讓目標區域直接暴露在電子束下，更容易成像。
5. 減少充電效應（在某些情況下）
對絕緣樣品，適當傾斜可能有助于電子荷流更好地分散，略微緩解局部充電導致的成像問題。
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作者：澤攸科技
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