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掃描電鏡電源不穩時對成像會有什么影響?

日期:2025-04-27

掃描電鏡(SEM)使用時如果電源不穩定,會對成像產生一系列直接且顯著的負面影響,主要體現在以下幾個方面:

1. 圖像漂移和抖動

電源電壓波動,會導致電子束的位置發生微小但連續的變化,表現為:

圖像整體出現緩慢漂移。

圖像細節出現晃動、抖動現象,尤其在高放大倍率下更明顯。

難以進行長時間曝光和高分辨率成像。

2. 失焦和分辨率下降

電源不穩使電子槍發射條件變化(比如發射電流或加速電壓波動),造成:

焦點偏移,導致圖像模糊、分辨率明顯降低。

特別是掃描速度慢時,圖像模糊感加重,細節變差。

3. 亮度和對比度不穩定

加速電壓或探測器供電波動,會引起:

圖像亮度忽明忽暗。

對比度變化,局部區域發白或發黑,影響觀察質量。

難以得到統一穩定的圖像輸出。

4. 出現條紋、噪點和偽影

電源噪聲(特別是交流紋波)疊加在電子束或信號鏈上,造成:

圖像上出現周期性條紋或噪點。

形成鬼影、重復影像等偽影。

在低電壓、大視場拍攝時更容易暴露這些問題。

5. 設備保護機制觸發

如果電源波動過大或瞬間掉電,SEM本身的保護機制可能動作,導致:

電子槍自動關斷以保護發射源(特別是場發射槍FEG系統)。

樣品臺運動中斷或系統自動停機。

部分老舊機型甚至可能燒毀電源模塊或高壓部分。


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作者:澤攸科技


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