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掃描電鏡拍照時如何對焦更清晰?

日期:2025-04-17

在掃描電鏡(SEM)拍照時,要獲得清晰對焦的圖像,你需要合理調節一系列參數與操作流程。以下是對焦更清晰的實用技巧與步驟:

一、操作步驟:如何快速正確對焦

1. 選擇高對比區域或邊緣特征進行對焦

找一個有清晰邊緣、紋理或納米結構的區域來對焦;

平坦無特征的區域不容易對準焦點。

2. 使用“粗調 + 細調”結合的方式

先在較低倍率(比如 500×)下進行粗對焦;

然后切換到更高倍率(5000×、10000×)進行精細對焦;

記得:焦距在不同倍率下略有不同,建議逐級對焦。

3. 使用“Wobble”功能輔助對焦(如果支持)

Wobble 是交替振蕩束流位置,用于優化“消像散”(Stigmator)時使用;

可邊觀察圖像抖動邊調整以獲得銳利焦點。

二、關鍵參數調整技巧

4. 調整工作距離(WD, Working Distance)

通常WD 越短,景深越小,分辨率越高,成像更清晰;

 WD 范圍:4~10 mm(具體依機型和探頭而定);

但注意太近會讓樣品表面易受電荷積聚影響。

5. 調節束流電流(Beam Current)

高束流有利于提高信噪比,清晰度更高;

但高電流也會引入樣品損傷或模糊邊緣,要平衡設置;

常用調節范圍:幾十 pA 到幾 nA。

6. 適當使用聚焦調節(Focus)和像散校正(Stigmator)

使用 X/Y stigmator 調節消除圖像拉伸或模糊;

特別是在高倍率(>10,000×)下對焦后,需再調 stigmator。

三、圖像穩定與降噪建議

7. 等待熱漂移穩定

開機后預熱 20~30 分鐘;

電鏡溫度穩定后成像更清晰,不容易漂移;

8. 使用慢速掃描提高成像清晰度

慢掃描減少掃描噪聲;

如果圖像模糊不清,可選擇中等幀率 + 多幀疊加平均;

四、樣品準備對成像清晰度的影響

9. 樣品表面盡量平整、導電

凹凸不平或絕緣樣品易產生偽影或充電模糊;

噴金、噴碳或蒸鍍薄層金屬膜有助于成像清晰。

10. 樣品安裝要牢固,避免震動

樣品若晃動,即便對焦也會圖像模糊;

建議使用碳膠、導電膠、銀漿牢固粘貼。


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作者:澤攸科技


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