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掃描電鏡（SEM）的樣品臺通常可以傾斜，這一功能對于獲得高質量成像效果和分析結果非常重要。

樣品臺傾斜的功能和作用

增強表面特征的可見性：

傾斜樣品可以改變入射電子束與樣品表面的角度，從而提高表面特征的對比度和清晰度。

特別是對于高度起伏的樣品，傾斜有助于減少影像中的陰影區域。

提高信號收集效率：

傾斜樣品可以增加二次電子或背散射電子的發射角，從而提高信號強度。

對于某些檢測器（如背散射電子檢測器），樣品的傾斜有助于優化信號采集。

測量晶體取向：

在電子背散射衍射（EBSD）分析中，樣品通常需要傾斜到 70° 左右，以優化衍射圖案的信號強度。

元素成分分析：

在能譜分析（EDS）中，適當傾斜樣品可以改善 X 射線的出射路徑，減少信號吸收，提高分析精度。

樣品臺的傾斜范圍

大多數 SEM 的樣品臺傾斜范圍在 0° 到 90° 之間，但具體范圍取決于設備的型號和樣品臺設計。

一些高精度樣品臺可能支持微小角度的調整，以便進行更加精細的優化。

傾斜樣品的注意事項

樣品高度限制：

傾斜樣品后，其實際高度會增加，需要注意樣品與電鏡鏡筒之間的距離，以避免發生碰撞。

視場變化：

傾斜樣品會改變電子束在樣品上的投影面積，可能導致視場形狀從圓形變為橢圓形。

電荷積累和分辨率影響：

對于非導電樣品，傾斜可能導致電荷分布不均，影響成像質量。

高傾斜角度下，圖像分辨率可能會有所下降。

校準：

傾斜樣品后，特別是用于測量的圖像，需要校正透視效應和角度誤差。

如何操作樣品臺傾斜？

通過 SEM 控制界面：

現代 SEM 設備大多配備了電動樣品臺，用戶可以在軟件界面中通過滑塊或輸入角度數值進行調整。

手動調整（舊型號或特殊設備）：

某些 SEM 可能需要手動調節樣品臺上的旋鈕以設置傾斜角度。

傾斜的實時觀察：

監控樣品在屏幕上的圖像，并根據成像需求逐步調整角度，直至達到理想效果。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的樣品臺能否傾斜。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢