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樣品需要根據(jù)掃描電子顯微鏡（SEM）的物理空間和操作要求進行處理，具體尺寸取決于 SEM 樣品腔室和樣品臺的規(guī)格。以下是處理樣品尺寸時的一些通用注意事項：

1. 樣品的物理尺寸

最大直徑/尺寸：

SEM 的樣品臺通常有直徑和高度限制，具體取決于設(shè)備型號：小型臺式 SEM：樣品直徑通常不超過 10–50 mm。

大型場發(fā)射 SEM：樣品直徑可達 100–200 mm，但較少用滿這個尺寸。

高度限制：樣品高度通常限制在 10–20 mm 內(nèi)，過高會導致樣品無法轉(zhuǎn)動或調(diào)節(jié)工作距離。

如何確定尺寸？

查看設(shè)備的規(guī)格文檔，查找 樣品室尺寸、樣品臺負載限制和最大樣品尺寸。

通常會提到 工作距離（Working Distance，WD） 的調(diào)節(jié)范圍，需要保證樣品不會碰到電子槍或其他部件。

2. 樣品的表面平整度

表面要求：樣品的表面盡量保持平整，這樣可以避免因傾斜導致的圖像失真。

如果樣品較大，可以切割或打磨成小塊。

3. 樣品安裝方式

樣品通常需要固定在 樣品托盤 或 樣品夾 上，因此樣品尺寸應(yīng)與托盤匹配。常見樣品托盤的規(guī)格：圓形托盤：直徑通常為 25 mm 或 32 mm。

多孔樣品臺：可以固定多個直徑較小（如 10 mm）的樣品。

定制夾具：對于不規(guī)則或薄片樣品，可以使用導電膠、銅箔或夾具固定。

4. 樣品的制備工藝

根據(jù) SEM 對樣品的要求，處理樣品時還需要考慮以下問題：

厚度：

樣品厚度應(yīng)盡量小以減少信號吸收，通常控制在 5–10 mm 以下。對于薄片樣品，厚度可以在 1 mm 左右。

切割和拋光：

使用切割工具（如金剛石鋸片）切割樣品，使其達到所需尺寸。對于材料科學樣品，可以進行機械拋光或電解拋光。

5. 樣品的特殊尺寸需求

傾斜觀察時的調(diào)整：

如果需要傾斜觀察（如 70° 角用于 EBSD 分析），樣品的尺寸應(yīng)考慮到傾斜后不會碰到設(shè)備的頂部或側(cè)壁。

橫截面觀察：

如果需要觀察樣品的橫截面，可以提前制備橫截面小塊或通過斷裂/切割得到。

6. 特殊樣品的處理

粉末樣品：使用導電膠固定在樣品臺上，形成薄層。

生物樣品：通常需要脫水、固定和金屬鍍膜（如 Au 或 Pt 鍍膜），處理后尺寸控制在標準樣品臺范圍內(nèi)。

非導電樣品：可能需要導電涂層處理，涂層厚度通常在 5–20 nm，不顯著改變樣品尺寸。

以上就是澤攸科技小編分享的樣品需要處理到什么尺寸才能放入掃描電鏡。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢