掃描電鏡成像時的電子信號是如何產生的
日期：2023-12-28
掃描電子顯微鏡（是一種利用電子束替代光子束來實現高分辨率成像的顯微鏡。以下是掃描電鏡成像時電子信號的產生過程：
電子源： 掃描電子顯微鏡使用電子槍產生高能電子束。電子槍通常包含一個熱陰極，通過加熱來釋放電子。這些電子經過加速電場，形成一個高速的電子束。
焦點控制： 通過一系列的電場和磁場，電子束被聚焦成一個細小的束流。這個過程類似于光學顯微鏡中的透鏡系統，但使用電場和磁場來調整電子束的路徑。
樣品交互： 電子束照射到樣品表面上，與樣品中的原子和分子發生相互作用。這包括散射、吸收和發射等過程。
信號產生： 樣品中的原子核和電子受到電子束的激發，產生不同的電子信號。主要的信號包括：
二次電子（SE）： 當電子束與樣品表面的原子相互作用時，會產生二次電子。這些電子被收集，用于生成樣品表面形貌的圖像。二次電子圖像提供樣品表面的形狀和拓撲信息。
反向散射電子（BSE）： 由于原子核的散射，一些電子會發生反向散射，產生反向散射電子。BSE圖像用于獲取關于樣品的化學成分信息。
特征X射線： 樣品中的電子可能被激發到一個高能級，當它們返回到低能級時，會釋放出X射線。這些特征X射線用于進行能譜分析，以確定樣品的元素組成。
探針掃描： 電子束在樣品表面上以一定的模式掃描，形成二次電子、反向散射電子和X射線的信號圖像。這些圖像被收集和整合，形成掃描電子顯微鏡圖像。
通過收集這些不同的信號，掃描電子顯微鏡能夠提供高分辨率和深度的表面形貌和化學成分信息，使其在研究微觀結構和納米級別的樣品中得到廣泛應用。
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作者：澤攸科技
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