掃描電鏡中的電子束是如何生成和控制的
日期：2023-12-20
掃描電鏡中的電子束是通過電子槍生成并經過一系列的控制和聚焦步驟來實現高分辨率的成像。以下是掃描電鏡中電子束的生成和控制的基本原理：
電子槍：
掃描電鏡中的電子束首先由電子槍產生。電子槍通常包括一個熱陰極（通常是鎢絲）和一個陽極。當熱陰極受加熱時，會發射電子，形成電子云。
電子束的加速：
電子云被加速器加速，通常通過電場或電壓差。這個過程將電子云加速到相對較高的能量，以形成高速的電子束。
電子束的調制和聚焦：
通過使用一系列的電場透鏡和磁場透鏡，電子束經過調制和聚焦，以形成細小而集中的電子束。這有助于提高電子束的分辨率和聚焦能力。
掃描線圈：
電子束通過被稱為掃描線圈的電磁設備，該線圈可在樣品表面進行快速掃描。通過調整掃描線圈的電流，可以控制電子束在樣品表面的位置。
樣品交互作用：
當高速電子束與樣品表面相互作用時，產生的信號（如二次電子、反向散射電子等）將被收集并用于生成圖像。樣品在電子束的激發下會發射出不同的信號，這些信號用于形成圖像。
檢測和圖像生成：
通過檢測樣品表面反饋的信號，掃描電鏡可以生成高分辨率的表面拓撲圖像。檢測器測量樣品表面的信號，并將這些信號轉換為圖像，反映樣品的微觀形貌。
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作者：澤攸科技
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