如何解決臺式掃描電鏡中的樣品表面充電問題？
日期：2023-08-10
在臺式掃描電鏡（SEM）中，樣品表面充電問題是一個常見的挑戰，可能會導致圖像質量下降、分析誤差等。充電問題通常在非導電樣品（如絕緣體）上更為明顯，因為電子束與樣品相互作用時會導致電子的積聚和充電現象。以下是一些解決臺式掃描電鏡樣品表面充電問題的方法：
導電涂層： 在樣品表面涂覆一層薄的導電涂層，如金屬薄膜或碳薄膜，可以有效地將電子束導入地面，減輕充電效應。
真空脫氣： 在SEM操作前，將非導電樣品放置在真空脫氣室中，利用真空環境去除表面的氣體分子，減少充電效應。
低電子束能量： 使用較低的電子束能量來照射樣品，這可以減少電子束與樣品相互作用，從而降低充電效應的影響。但需要注意，較低的電子束能量可能會導致圖像分辨率下降。
金屬導電膠： 將樣品固定在導電膠上，導電膠可以將電子束引導到地面，減輕充電效應。
樣品冷凍： 冷凍樣品可以減少樣品表面的電子排斥效應，從而減輕充電問題。這在一些特定情況下可能是一個有效的方法。
透射電鏡（TEM）觀察： 如果充電問題無法解決，可以考慮使用透射電鏡觀察樣品，因為在TEM中樣品通常被薄到足夠薄，以至于充電效應不太明顯。
低真空模式： 一些SEM設備提供低真空模式，可以在減少氣體分子密度的條件下進行成像，從而降低充電效應。
電子束抑制器： 一些SEM設備可能配備了電子束抑制器，可以通過引導電子束到樣品外部來減輕充電效應。
電子束預處理： 在開始成像之前，使用較低的電子束掃描樣品表面一段時間，這可以幫助消除部分表面充電效應。
環境SEM： 環境SEM操作在相對高氣壓下進行，可以減少充電問題的影響，特別是對于水分等吸附在樣品表面的情況。
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作者：澤攸科技