如何校準掃描電鏡以獲取準確的圖像尺寸？
日期：2023-07-19
校準掃描電子顯微鏡以獲取準確的圖像尺寸是非常重要的，因為它能夠提供有關樣本的尺寸和形狀的準確信息。以下是校準SEM以獲取準確圖像尺寸的一般步驟：
準備標準樣品：首先，需要使用已知尺寸的標準樣品。這些標準樣品通常由制造商提供，也可以購買或制作。標準樣品的尺寸應該與你感興趣的應用相匹配，并且其尺寸應該是已知的，以便用于校準。
導電層涂覆：確保標準樣品是導電的，因為SEM需要在導電樣品上進行觀察。對于非導電樣品，可以通過蒸鍍或噴涂薄導電層（如金屬或碳）來實現導電化。
加載標準樣品：將標準樣品放置在SEM樣品臺上，并確保其穩固地固定在位置上。
聚焦和圖像獲取：將SEM聚焦在標準樣品上，并獲得一系列圖像。確保使用合適的電子束參數，如適當的加速電壓和探測器設置。
測量圖像中的尺寸：使用SEM軟件或其他圖像處理軟件測量標準樣品中感興趣的特征或結構的尺寸。這些特征可以是直線、角度、孔洞的直徑等等。
建立標準曲線或縮放因子：將測量得到的標準樣品尺寸與實際已知尺寸進行比較。根據比較結果，建立標準曲線或計算縮放因子，該因子可以用來將SEM圖像中的測量值轉換為實際的尺寸值。
應用校準：使用標準曲線或縮放因子來校準SEM圖像中的尺寸。通過應用校準因子，可以將SEM圖像中的測量結果轉換為真實的尺寸值。
驗證校準：驗證校準的準確性。對其他已知尺寸的標準樣品進行類似的校準，并與已知尺寸進行比較，以確保校準的準確性和可靠性。
需要注意的是，SEM圖像的尺寸校準可能受到一些因素的影響，例如SEM的儀器漂移、樣品的形態變化和導電層的均勻性等。因此，定期進行校準和驗證非常重要，以確保獲取準確和可靠的圖像尺寸數據。
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作者：澤攸科技