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掃描電鏡對導電性的要求

日期:2023-07-14

掃描電鏡對樣品的導電性有一定的要求。由于SEM使用電子束來觀察樣品表面,樣品的導電性對于獲取清晰的圖像和準確的表面形貌信息非常重要。

一般來說,SEM對導電性的要求可以總結如下:

導電性材料:SEM樣品應選擇具有較好導電性的材料。導電性良好的材料能夠在電子束照射下有效地釋放電荷,防止靜電積聚和電荷積累的影響。金屬是一種良好的導電材料,常用的金屬樣品包括金、銀、銅和鋁等。此外,碳復合材料或導電涂層也可以應用于非導電樣品。

表面導電:樣品表面應保持導電性,以確保電子束能夠在樣品表面均勻分布和散射。對于非導電樣品,常常需要在SEM觀察前進行特殊處理,如金屬鍍膜、碳鍍膜或金屬涂覆等,以提高樣品的導電性。

地線連接:在SEM中觀察樣品時,為了消除靜電干擾,樣品通常需要與SEM系統的地線連接。地線連接有助于將電荷引導到地,以防止靜電干擾和電子束偏轉。

避免充電效應:在SEM觀察過程中,樣品表面可能發生充電效應,導致圖像失真或信號偏移。為了避免充電效應,可以采用較低的電子束能量、較小的探針電流和合適的掃描速度等操作參數。

ZEM18臺式掃描電鏡

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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