臺式掃描電鏡中的電子束是如何生成的
日期：2023-06-27
臺式掃描電鏡中的電子束是通過以下步驟生成的：
電子槍：臺式掃描電鏡中的電子束通常由一個電子槍產生。電子槍通常包括一個熱陰極和一個陽極。熱陰極是一個由熱絲構成的發射器，當通過它通電時，熱絲會加熱并發射出電子。
電子發射：在電子槍中，熱陰極加熱后會釋放出自由電子，這個過程稱為電子發射。這些發射的電子被稱為初級電子。
加速電場：初級電子從電子槍中發射出來后，進入一個加速電場。加速電場通過一個高壓電源，在槍體和陽極之間產生一個電場，使初級電子獲得較高的能量。
聚焦系統：在初級電子被加速后，它們進入聚焦系統。聚焦系統包括一組電磁透鏡或電場透鏡，用于將初級電子束聚焦成一個尖銳的束流，并控制其直徑和形狀。
準直系統：準直系統用于使電子束保持平行和平面，并校正電子束的偏轉。
束流控制：束流控制系統用于調節電子束的亮度和電子流強度。它通常包括一個開關和/或調節器，用于控制電子束的開關、亮度和聚焦等參數。
通過以上步驟，臺式掃描電鏡中的電子束得以生成，并且經過聚焦、準直和束流控制等步驟的處理，使其具有足夠的能量和聚焦性能，用于樣品表面的掃描和成像。
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作者：澤攸科技
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