掃描電鏡如何產生高分辨率的圖像？
日期：2023-05-18
掃描電鏡（SEM）通過以下方式產生高分辨率的圖像：
高能電子束：掃描電鏡使用高能電子束來照射樣品表面。相比于可見光的波長，電子束的波長極短，使得掃描電鏡能夠獲得更高的分辨率。通常使用加速電壓為幾千伏至數十千伏的電子束。
準確的電子束聚焦：掃描電鏡使用電子透鏡系統來聚焦電子束。通過控制聚焦透鏡和物鏡透鏡，可以使電子束聚焦到非常小的尺寸，從而增加圖像的細節和分辨率。
樣品表面信號檢測：當高能電子束照射樣品表面時，與樣品相互作用的電子和光子等信號將被產生。掃描電鏡可以檢測和測量這些信號，例如二次電子發射、散射電子、透射電子和X射線等。這些信號提供有關樣品表面形貌、組成和結構的信息。
掃描電子束的掃描和檢測：掃描電子束在樣品表面進行掃描，通過逐點或逐線的方式掃描整個樣品區域。同時，檢測系統接收到信號并轉換成電信號，以產生圖像。通過掃描和檢測過程，掃描電鏡能夠獲取樣品表面的細節和形貌信息。
數字圖像處理和顯示：通過數字圖像處理和顯示技術，掃描電鏡獲得的信號可以被轉換成高分辨率的圖像。這包括去噪處理、增強對比度、調整亮度和色彩平衡等。數字圖像處理提供了更清晰、更準確的圖像顯示和分析。
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作者：澤攸科技
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