SEM掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)
日期：2023-04-28
SEM掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡，它利用高能電子束與樣品表面相互作用，通過對樣品表面的電子信號進行探測和分析，從而獲得樣品的形態(tài)、結(jié)構(gòu)和成分等信息。掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)主要包括以下幾個部分：
電子槍：電子槍是掃描電鏡的核心部分，主要由熱陰極、加速電極和聚焦磁場等組成。電子槍產(chǎn)生的電子束在加速電極的加速下，形成高能電子束，從而對樣品進行掃描。
樣品臺：樣品臺是用于支撐樣品的平臺，通常由三維微調(diào)臺和旋轉(zhuǎn)臺組成。樣品需要放置在樣品臺上，并通過微調(diào)和旋轉(zhuǎn)來準確定位和調(diào)整。
掃描線圈：掃描線圈是用于控制電子束掃描范圍和掃描速度的磁場系統(tǒng)。掃描線圈可以通過電磁鐵來調(diào)節(jié)磁場的強度和方向，從而控制電子束的掃描范圍和掃描速度。
檢測器：檢測器是用于探測樣品表面反射、散射和次級電子等信號的裝置，通常包括次級電子探測器、反射電子探測器和透射電子探測器等。不同的檢測器可以獲取不同類型的信號，從而對樣品進行不同方式的分析。
顯示器和計算機：掃描電鏡需要將采集到的信號進行數(shù)字化處理，并將結(jié)果顯示在計算機上。計算機還可以對樣品進行圖像處理和分析，從而提取出更多的信息。
以上是掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)，不同型號的掃描電鏡可能會有一些差異。但總體而言，掃描電鏡的結(jié)構(gòu)都是由電子槍、樣品臺、掃描線圈、檢測器和計算機等幾個主要部分組成的。
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作者：澤攸科技
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