掃描電鏡信號采集類型
日期：2023-04-25
掃描電鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）的信號采集類型通常包括以下幾種：
二次電子（SE）信號：這是SEM中常用的信號類型。當電子束掃描到樣品表面時，樣品表面的物質會發射出二次電子，這些電子經由檢測器采集并轉換成圖像，用于觀察樣品的形貌和表面特征。
反射電子（BE）信號：當電子束掃描到樣品表面時，部分電子會被樣品表面的物質反射回來，形成反射電子信號。反射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結構。
散射電子（BSE）信號：當電子束與樣品相互作用時，一部分電子會被樣品內部物質散射出來，形成散射電子信號。散射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結構，具有較強的深度信息。
透射電子（TE）信號：在一些特定的SEM配置中，可以通過加入透射電子探測器，采集樣品內部的透射電子信號，從而獲得樣品的透射電子顯微圖像，用于觀察樣品的內部結構和組成。
需要注意的是，不同類型的信號在SEM中的采集方式和檢測器配置可能會有所不同，具體的信號采集方式和檢測器配置會根據SEM設備的型號、廠商以及研究目的而有所差異。
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作者：澤攸科技
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