掃描電鏡制樣冷臺(tái)法操作步驟
日期：2023-04-25
掃描電鏡（SEM）制樣的冷臺(tái)法是一種常用于金屬和導(dǎo)電樣品的制樣方法，通常涉及使用液氮或液氦冷卻樣品，以減少電子束輻照引起的熱損傷。以下是一般的掃描電鏡制樣冷臺(tái)法的步驟：
準(zhǔn)備樣品：選擇合適的金屬或?qū)щ姌悠罚⑦M(jìn)行必要的前處理，如清洗、去污等，以確保樣品表面干凈。
固定樣品：將樣品固定在SEM樣品支架上，可以使用導(dǎo)電膠水或?qū)щ娔z帶等固定方法，確保樣品與樣品支架之間的良好接觸。
冷卻樣品：將樣品支架放置在液氮或液氦冷卻的樣品冷臺(tái)上，以降低樣品溫度，通常可以降低到-150°C以下。
制備樣品表面：在樣品表面形成一個(gè)平坦、光滑的表面，通常可以通過(guò)離子束拋光（Ion Beam Polishing，IBP）或其他類似的方法進(jìn)行。這一步驟有助于減少SEM圖像中的表面充電和偽影，并提高圖像的質(zhì)量。
導(dǎo)電涂覆：如果樣品表面不足夠?qū)щ姡梢栽跇悠繁砻嫱扛惨粚訉?dǎo)電薄膜，如金屬蒸發(fā)、濺射、噴涂等方法，以提高SEM圖像的對(duì)比度和清晰度。
移除冷臺(tái)：在制備完樣品后，可以將樣品支架從冷臺(tái)上取下，但需要注意避免樣品迅速回溫，以避免可能引起的熱損傷。
轉(zhuǎn)移到SEM：將制備好的樣品支架安裝到SEM中，并進(jìn)行合適的參數(shù)設(shè)置，如加速電壓、探針電流、檢測(cè)器設(shè)置等。
SEM觀察：使用SEM對(duì)樣品進(jìn)行觀察和圖像獲取。由于樣品在冷臺(tái)法制樣過(guò)程中處于低溫狀態(tài)，可以減少電子束輻照引起的熱效應(yīng)，從而獲得更清晰、高對(duì)比度的SEM圖像。
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作者：澤攸科技