掃描電鏡的標(biāo)準(zhǔn)配置介紹
日期：2023-03-27
掃描電鏡（SEM）是一種用于高分辨率表面形貌觀察和成分分析的儀器。通常，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的掃描電鏡配置包括以下幾個(gè)主要部分：
電子槍：產(chǎn)生高速電子束的部件，通常采用熱陰極或場(chǎng)發(fā)射式電子槍。
電子透鏡系統(tǒng)：通過(guò)電磁場(chǎng)對(duì)電子束進(jìn)行聚焦和控制，以形成高分辨率的電子束。
樣品臺(tái)：支撐待觀察的樣品，通常是旋轉(zhuǎn)和傾斜的，以便在多個(gè)角度下觀察樣品表面。
檢測(cè)系統(tǒng)：通過(guò)探測(cè)樣品表面反射或散射的電子、X射線或者其他信號(hào)來(lái)生成圖像和分析樣品成分。
顯示和圖像處理系統(tǒng)：將檢測(cè)到的信號(hào)轉(zhuǎn)化為可視化的圖像，同時(shí)提供圖像處理和分析功能。
真空系統(tǒng)：提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境，保證電子束與樣品之間沒(méi)有氣體或者污染物質(zhì)的干擾。
此外，有些掃描電鏡還配備了一些附加功能，如樣品加熱或冷卻裝置、電子束的傾斜和旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、特殊的探測(cè)器等，以滿足特定的實(shí)驗(yàn)需求。
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作者：澤攸科技