提高掃描電鏡分辨力的路徑和方式
日期：2022-07-25
提高掃描電鏡分辨力的路徑和方式，下面澤攸科技小編為您介紹提高掃描電鏡的分辨力，主要有兩條渠道:首先是解決照明源，只有在入射束流密度足夠高的情況下，才能進一步縮小入射束斑，入射束斑足夠小，分辨力才能高；其次是盡量提高成像信息的收集效率和探測器的轉換靈敏度，接收到的成像信息量越多，圖像的信噪比和清晰度也就可以進一步得到改善，又可以返回來進一步減小束斑，從而圖像的分辨力也就越高。目前，為提高電鏡圖像的分辨力，常采用的途徑和方式有下列幾種。
（1）利用高亮度的場發射電子槍來作電子源的陰極以提高束流密度，從而提高亮度。
（2）縮短工作距離，既可以相對增大信號量、提高信噪比，又可以減小像差，也就是把試樣盡量移近物鏡極靴，這類似于光學顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的極靴區是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小，一般只有毫米級的試樣才能進得去，而且試樣的移動范圍很小，操作起來要格外小心，否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短，束斑受外界的影響小，像差也小，且能進入到該區域的試樣座也要小，小樣品臺的穩定性相對會比較好，所以在該區域拍攝的照片，其圖像分辨力能得到明顯提高。
(3)采用透鏡內(In-lens)探測器或安裝在物鏡上方的探測器(TLD-SED)，都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時，不僅可以減小物鏡球差和消除傳統E-T探測器前端柵網上加速電位帶來的影響，而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產生的二次電子，排除了背散射電子等其他信號所產生的次生或間接的二次電子，因而有助于提高圖像分辨力。
(4)使用強磁透鏡，這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件，使試樣發出的二次電子在強磁場中被檢測、收集成像，即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像，而且這種二次電子像的分辨力往往優干同類電子槍的專業掃描電鏡。
(5)在物鏡的極靴附近加設一個特殊的附加靜電裝置(Electrostatics Serves)，用來同時匯集一次電子并提取二次電子，再加上物鏡頂部環形探測器接收的面積大，靈敏度高，在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。
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作者：澤攸科技