臺式掃描電鏡的工作原理
日期：2021-08-09
1960年代，掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）問世，它利用高能電子束對樣品進行掃描成像。 電子與構(gòu)成樣品的原子的相互作用可以產(chǎn)生包含樣品表面的形貌、成分和其他信息的信號。接下來澤攸小編將主要介紹一下臺式掃描電鏡的工作原理。
從原理上講，掃描電子顯微鏡是利用非常精細聚焦的高能電子束在樣品上掃描，激發(fā)各種物理信息。 通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，可以獲得對試樣表面形貌的觀察
。
掃描電子顯微鏡（SEM）——一種電子光學(xué)儀器，它利用很細的電子束掃描被觀察樣品的表面，收集電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息，并對圖像進行變換和放大。它是研究三維表面結(jié)構(gòu)的有用工具。在高真空鏡筒中，電子槍產(chǎn)生的電子束通過電子會聚透鏡聚焦成細束，然后逐點掃描轟擊樣品表面。產(chǎn)生一系列電子信息（二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等），檢測器接收各種電子信號，經(jīng)電子放大器放大后輸入到顯像管控制的顯像管。顯像管網(wǎng)格。當(dāng)聚焦的電子束掃描樣品表面時，樣品的不同部位具有不同的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、元素組成和不均勻的形貌，從而產(chǎn)生不同的電子束激發(fā)的電子信息，從而導(dǎo)致電子顯像管的光束強度也不斷變化，zui終在顯像管的熒光屏上可以得到與樣品表面結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的圖像。根據(jù)探測器接收到的不同電子信號，可以分別得到樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像和吸收電子圖像。 掃描電子顯微鏡的分辨率可達50~100?，電子放大倍數(shù)可連續(xù)變化十倍至幾十萬倍。因此，可以仔細觀察樣品的整個表面。
希望澤攸科技小編的介紹能為對臺式掃描電鏡的工作原理的研究提供參考，關(guān)于掃描電鏡價格請咨詢
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