掃描電子顯微鏡（SEM）之樣品處理的要求
日期：2021-03-24
掃描電子顯微鏡（SEM）之樣品處理的要求，多熟悉掃描電鏡對(duì)樣品處理要求對(duì)測(cè)試有很大的幫助，下面澤攸科技小編帶大家來(lái)看看都有哪些要求。
掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢(shì)為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢(shì)為樣品須在真空環(huán)境下觀察，因此對(duì)樣品有一些特殊要求,籠統(tǒng)的講：干燥，無(wú)油，導(dǎo)電。
1、形貌形態(tài)，須耐高真空。
例如有些含水量很大的細(xì)胞，在真空中很快被抽干水分，細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無(wú)法對(duì)各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分；
2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物。
油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?，?duì)真空環(huán)境造成很大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬鸷艽笙笊?；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y(cè)器晶體表面，降低探測(cè)器效率。對(duì)低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。
3、樣品須為干燥。
水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而大降低燈絲壽命；水蒸氣會(huì)散射電子束，增加電子束能量分散，從而加大色差，降低分辨能力。
4、樣品表面須導(dǎo)電。
在大多數(shù)情況下，初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。
5、在某些情況下，樣品制備變成重要的考慮因素。
若要檢測(cè)觀察弱反差機(jī)理，就須消除強(qiáng)反差機(jī)理（例如，形貌反差），否則很難檢測(cè)到弱的反差。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí)，磁性材料的磁疇特性須消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。
特殊情況: 磁性材料，須退磁。
【國(guó)產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡】
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作者：小攸