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二維材料以其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)，正在成為現(xiàn)代科學(xué)研究的前沿領(lǐng)域。這些材料在電子、能源、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。本文將帶您了解澤攸科技在二維材料的生長(zhǎng)、轉(zhuǎn)移、表征的全過(guò)程解決方案。

二維材料的生長(zhǎng)：PECVD 

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是一種用于生長(zhǎng)高質(zhì)量二維材料的技術(shù)，通過(guò)等離子體激發(fā)氣體中的化學(xué)反應(yīng)，促進(jìn)材料在襯底上的生長(zhǎng)。

澤攸科技自主研發(fā)的多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）是用來(lái)制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù)，主要借助微波或射頻的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離，促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行，從而在基片上沉積出所期望的薄膜。

二位材料的生長(zhǎng)與表面裝飾

Graphene在任意襯底上的無(wú)催化生長(zhǎng)

相關(guān)期刊案例：

1.Catalyst-Free Growth ofNanographene Films on VariousSubstrates,《Nano Research》

2.Growth, Characterization, and Properties of Nanographene,《Small》

3.Ultrasensitive biochemical sensing platform enabled by directly grown graphene on insulator,《Small》

二維材料的轉(zhuǎn)移：電動(dòng)高精度轉(zhuǎn)移臺(tái)

傳統(tǒng)的機(jī)械臂或細(xì)長(zhǎng)操作棒難以實(shí)現(xiàn)如此高精度的樣品操控。而市面上大多數(shù)微納操作平臺(tái)也存在工作空間小、轉(zhuǎn)移精度難以保證等問(wèn)題，為解決這一技術(shù)瓶頸，澤攸科技研發(fā)了這款電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)。

該設(shè)備集成了氣浮隔震減振系統(tǒng)、高精度電動(dòng)三坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)臺(tái)、樣品加熱裝置、真空吸附系統(tǒng)、顯微圖像系統(tǒng)等模塊，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品的穩(wěn)定支撐和精確操控，特別適合于二維材料從基底到目標(biāo)基底的轉(zhuǎn)移，相比其它設(shè)備，操作更為簡(jiǎn)便，轉(zhuǎn)移精度和靈活性也有很大提高。

電學(xué)表征：探針臺(tái)

澤攸科技的低溫液氮探針臺(tái)是一種專門(mén)進(jìn)行二維材料電學(xué)性質(zhì)測(cè)量的重要工具，主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成，在測(cè)量室溫真空或者大氣環(huán)境下器件電性能、變溫IV性能、器件光電性能研究（靈敏度、量子效率、相應(yīng)速度等）有著廣泛應(yīng)用。

單層二硫化鎢場(chǎng)效應(yīng)晶體管的IV曲線和轉(zhuǎn)移曲線

利用真空溫差熱臺(tái)測(cè)量材料的熱電性能

形貌及成份表征：臺(tái)式掃描電鏡

澤攸科技的ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡不僅提供了成像質(zhì)量，還具備便攜性和靈活性，配備減速樣品臺(tái)可在SEM中獲得的更清晰的二維材料圖像。

二維材料表征圖

原子尺度形貌表征：掃描隧道顯微鏡

澤攸科技掃描隧道顯微鏡（STM）為代表的超高真空設(shè)備廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中，主要進(jìn)行對(duì)表面有關(guān)或者在表面發(fā)生的所有物理化學(xué)現(xiàn)象進(jìn)行原子尺度的研究。

超高真空低溫（4K）STM系統(tǒng)包含關(guān)鍵技術(shù)如壓電陶瓷步進(jìn)馬達(dá)、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等。超高真空低溫掃描隧道顯微鏡系列產(chǎn)品，除了高性能STM、調(diào)頻AFM、TERS等設(shè)備外，還可將核心部件模塊化，集成化，針對(duì)科研用戶，定制開(kāi)發(fā)所需功能和設(shè)備。

銅上的單層和雙層硼烯

銀上的單層硼烯。

相關(guān)期刊案例：

1.Synthesis of bilayer borophene,《Nature Chemistry》

2.Abnormal phase transition between two-dimensional high-density liquid crystal and low-density crystalline solid phases,《Nature Communications》

3.Experimental realization of two-dimensional boron sheets,《Nature Chemistry》

原位結(jié)構(gòu)表征：原位TEM/SEM測(cè)量系統(tǒng)

澤攸科技PicoFemto原位TEM/SEM測(cè)量系統(tǒng)的核心優(yōu)勢(shì)在于，實(shí)時(shí)原位觀察樣品在真實(shí)環(huán)境下的動(dòng)態(tài)現(xiàn)象，從而觀察材料的變化并進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。

二維納米材料展現(xiàn)出多種力電和光電性能

相關(guān)期刊案例：

1.The Role of Geometric Sites in 2D Materials for Energy Storage,《Joule》

2.Optomechanical Properties of MoSe2 Nanosheets as Revealed by In Situ Transmission Electron Microscopy,《Nano Letters》