低壓條件下臺(tái)式掃描電鏡分辨率的優(yōu)化方法

在低壓條件下進(jìn)行臺(tái)式掃描電鏡（SEM）圖像的優(yōu)化，確實(shí)是一個(gè)挑戰(zhàn)，因?yàn)榈蛪嚎赡軐?dǎo)致分辨率下降和圖像質(zhì)量降低。

臺(tái)式掃描電鏡分辨率與電子束能量的關(guān)系

臺(tái)式掃描電鏡（SEM）的分辨率與電子束能量之間存在密切的關(guān)系。通常情況下，SEM的分辨率隨著電子束能量的增加而提高，但也受到一些因素的影響，包括樣品特性、電子束直徑和檢測(cè)器性能等。

臺(tái)式掃描電鏡（SEM）信號(hào)強(qiáng)度不足可能由多種因素引起，其中一些主要因素包括：

透射電鏡（TEM）和臺(tái)式掃描電鏡（SEM）是兩種常用的電子顯微鏡，它們?cè)诔上裨砗蛻?yīng)用方面有著顯著的差異。

處理樣品表面的吸附層在掃描電鏡成像中非常重要，因?yàn)槲綄涌赡軙?huì)影響到樣品的表面形貌和成像質(zhì)量。

掃描電鏡成像中常見(jiàn)的樣品損傷原因有許多，其中一些主要原因包括：

基底和背景干擾可能對(duì)掃描電鏡成像產(chǎn)生以下影響：

掃描電鏡圖像模糊可能有多種原因，以下是一些可能的因素：