掃描電鏡中的電子束對樣品的影響和調(diào)節(jié)方法
日期：2024-04-12
掃描電鏡中的電子束對樣品有幾方面的影響：
表面充電效應(yīng)： 電子束會與樣品表面的原子或分子相互作用，導(dǎo)致表面充電。這可能會導(dǎo)致成像的失真或產(chǎn)生干擾信號。調(diào)節(jié)方法包括使用導(dǎo)電性樣品支撐或涂層，以及通過在樣品表面鍍覆導(dǎo)電材料來減少表面充電效應(yīng)。
樣品損傷： 高能電子束可能會導(dǎo)致樣品損傷，尤其是對于有機(jī)樣品或生物樣品。為了減少損傷，可以降低電子束的能量、減少電子束的暴露時間或者采用低溫條件進(jìn)行成像。
放射性偽影： 樣品中的元素可能會發(fā)出X射線或者二次電子，這些輻射可能會干擾成像信號，產(chǎn)生偽影。調(diào)節(jié)方法包括使用低加速電壓、使用適當(dāng)?shù)臋z測器來分離成像信號和偽影信號，以及在分析之前進(jìn)行樣品的金屬涂覆或者碳涂覆。
散射效應(yīng)： 電子束在樣品中的散射可能會導(dǎo)致成像分辨率的降低。為了減少散射效應(yīng)，可以使用較低的電子束能量、更小的束直徑或者采用適當(dāng)?shù)臉悠窚?zhǔn)備方法，如薄切片或表面涂層。
為了調(diào)節(jié)電子束對樣品的影響，通常需要根據(jù)具體的樣品類型和成像要求采取相應(yīng)的措施。這可能涉及調(diào)整電子束的能量、電流和聚焦，選擇合適的檢測器和樣品準(zhǔn)備方法，以及在成像過程中對樣品進(jìn)行實時監(jiān)控和調(diào)整。
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作者：澤攸科技