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掃描電鏡可以檢測什么信號

日期:2024-04-24

掃描電鏡(SEM)主要檢測的是與樣品表面交互作用后產生的不同信號。這些信號包括:

次級電子(SE)信號:這是SEM中常用的信號之一。當高能電子束照射樣品表面時,部分電子會被激發(fā)出來,形成次級電子信號。這些電子的能量通常較低,對樣品表面的拓撲結構和表面特性具有很高的表面靈敏度。

反射電子(BSE)信號:反射電子是在與樣品原子核的相互作用后被反射回來的電子。這些電子的能量通常較高,提供了有關樣品成分和結構的信息。BSE信號對于獲取有關樣品的化學成分和晶體結構的信息非常有用。

X射線信號:當高能電子束與樣品表面相互作用時,會激發(fā)出X射線。這些X射線的能量與樣品中的原子核的成分有關。通過分析這些X射線的能譜,可以確定樣品的化學成分。

熒光信號:當樣品表面受到電子束照射時,可能會產生熒光,這些熒光信號可以提供有關樣品成分和表面特性的信息。

這些信號的檢測和分析可以為對樣品的成分、結構和表面特性提供詳細的信息,使得SEM成為了材料科學、生物學、納米技術等領域中廣泛應用的強大工具。

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作者:澤攸科技


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