臺式掃描電鏡常見制備導電涂膜方法
日期：2023-06-14
在臺式掃描電鏡（SEM）中，導電涂膜常用于提高非導電樣品的導電性，以便在SEM觀察時獲得清晰的圖像。導電涂膜可以增加樣品的表面導電性，使電子束能夠在樣品表面上流動并生成信號。
常見的導電涂膜材料包括金屬（如金、鉑、銀）、碳以及合金。以下是一種常見的方法來制備導電涂膜：
準備樣品：首先，準備您要涂覆的樣品。確保樣品表面干凈，并去除表面污染物和油脂。
清潔樣品：在開始涂覆之前，您可以使用溶劑（如酒精或丙酮）進行樣品的清潔，以去除表面的雜質和污染物。
涂覆導電涂膜：選擇適當的導電涂膜材料，并使用合適的方法將其涂覆到樣品表面上。以下是一種常見的方法：
a. 真空蒸發法：這是一種常用的涂覆導電涂膜的方法。將導電材料（如金屬）放置在真空蒸發設備中，加熱至其熔點，使其蒸發并沉積在樣品表面上。
b. 濺射法：這種方法通過將導電材料（如碳或金屬）放置在濺射裝置中，并在真空環境下施加高能粒子（如離子或電子束）來濺射材料，使其沉積在樣品表面上。
c. 涂覆法：可以使用導電性噴霧或者刷涂法來涂覆導電涂膜。將涂覆溶液或懸浮液均勻地涂布在樣品表面上，然后等待干燥。
涂覆厚度控制：涂覆導電涂膜時，可以通過控制材料的沉積時間、蒸發速率或者濺射參數來控制涂層的厚度。通常，涂層的厚度應保持在幾納米至幾十納米的范圍內，以獲得適當的導電性。
檢查和修整：涂覆完成后，檢查涂層的質量和均勻性。如有必要，可以使用顯微鏡或SEM來觀察涂層，并進行必要的修整。
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作者：澤攸科技
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